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공정 노드
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0
10
µm
– 1971
00
6
µm
– 1974
00
3
µm
– 1977
1.5
µm
– 1981
00
1
µm
– 1984
800
nm
– 1987
600
nm
– 1990
350
nm
– 1993
250
nm
– 1996
180
nm
– 1999
130
nm
– 2001
0
90
nm
– 2003
0
65
nm
– 2005
0
45
nm
– 2007
0
32
nm
– 2009
0
22
nm
– 2012
0
14
nm
– 2014
0
10
nm
– 2016
00
7
nm
– 2018
00
5
nm
– 2020
00
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– 2022
00
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미래
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