엑시머 레이저

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엑시머 레이저(excimer laser)는 들뜬 상태에서는 결합하고 바닥상태에서는 흩어지는 화학종을 이용한 레이저다. 엑시머들뜬 상태에서는 이합체로 결합하고 바닥상태에서는 흩어지는 화학종이고 엑시플렉스들뜬 상태에서는 결합하고 바닥상태에서는 흩어지는 서로다른원자로 된 화학종이므로 엄밀히는 엑시머 레이저와 엑시플렉스 레이저를 구별하여야 하나 관용적으로 구분하지 않고 사용된다.

파장이 짧은 자외선인 엑시머 레이저는 물체나 생체조직을 태우지 않고 결합을 끊을 수 있기 때문에 라식등의 의학이나 포토리소그래피(Photolithography)등 다양한 용도로 쓰인다.

역사[편집]

모스크바레데예프 물리학 연구소에서 니콜라이 바소프, V. A. Danilychev, Yu. M. Popov가 1970년에[1] 172 nm 파장의 유도 방출을 제공하기 위해 전자 빔으로 들뜨게 한 제논 이합체 (Xe2)를 이용하여 발명하였다.

파장 결정[편집]

엑시머 레이저의 파장은 사용되는 분자에 따라 달라지며, 자외선에 보통 존재한다:

엑시머 파장 상대력(Relative Power)
mW
Ar2* 126 nm
Kr2* 146 nm
F2* 157 nm
Xe2* 172 & 175 nm
ArF 193 nm 60
KrF 248 nm 100
XeBr 282 nm
XeCl 308 nm 50
XeF 351 nm 45
KrCl 222 nm 25

각주[편집]

  1. Basov, N. G. et al., Zh. Eksp. Fiz. i Tekh. Pis’ma. Red. 12, 473(1970).