그림 1 - 스탬프 "잉크" 패턴이 있는 PDMS 스탬프를 에탄올과 ODT(옥타데칸티올) 용액에 넣는다.그림 2 - 솔루션의 ODT가 PDMS 스탬프에 고정된다. Stamp에는 이제 잉크 역할을 하는 ODT가 부착되어 있다.그림 3 - ODT가 포함된 PDMS 스탬프가 금 기판에 배치된다. 스탬프가 제거되면 금과 접촉한 ODT가 금에 달라붙어 있다. 따라서 스탬프의 패턴은 ODT "잉크"를 통해 금으로 전사된다.
소프트 리소그래피(Soft lithography)는 기술 분야에서 "탄성 스탬프, 몰드 및 순응성 포토마스크"를 사용하여 구조를 제작하거나 복제하는 기술 계열이다. 이는 엘라스토머 재료, 특히 PDMS를 사용하기 때문에 "소프트"(soft)라고 불린다.
소프트 리소그래피는 일반적으로 마이크로미터에서 나노미터 규모로 측정된 형상을 구성하는 데 사용된다. 로저스(Rogers)와 누조(Nuzzo, 2005)에 따르면 소프트 리소그래피의 개발은 1995년부터 2005년까지 급속히 확대되었다. 소프트 리소그래피 도구는 현재 상업적으로 이용 가능하다.
