사용자:윤 태성/연습장
| 형태 | 주식회사 |
|---|---|
| 창립 | 1979년9월 (주식회사사무코인터내셔널연구소) |
| 시장 정보 | 틀:상장정보틀:상장정보틀:상장정보 |
| 매출액 | 42억1백만엔 (2013년7월) |
영업이익 | 3억42백만엔 (2013년7월) |
| 3억54백만엔 (2013년7월) | |
| 순자산 | 68억38백만엔 (2013년7월31일) |
종업원 수 | 161명(2013년7월31일) |
| 자본금 | 12억1378만7288엔 |
| 웹사이트 | http://www.samco.co.jp/ |
사무코주식회사(サムコ株式会社,SAMCO Inc.)는 본사가 일본 교토시에 있으며반도체 등의 전자부품제조장비를 제조하는 회사이다. CVD장비, Dry Etching장비, Dry Cleaning장비 등을 제조・판매하고 있다. 2001년 5월 30일에 JASDAQ상장하였으며 2014년 1월 9일 동경증권거래소 1부에 상장하였다.
회사개요[편집]
- 1979년（昭和54年）대표이사인 쯔지 오사무(辻理)가 교토시 후시미구의 상업빌딩1층 주차장에 주식회사 사무코 인터내셔널 연구소 설립. 사원2명이 태양전지용의 비정질실리콘(Amorphous Silicon)박막(Thin Film)형성용 플라즈마(Plasma)CVD장비를 제작하였다. 회사명SAMCO는 Semiconductor And Materials Company－반도체와 재료개발 분야에서 약진한다 에서 유래한다. 2012년 10월에 누적장비판매대수가 3000대를 돌파하였다.
- 고휘도LED나 각 종 Laser용도의 Opto-Electronics분야와 Power Device, SAW Filter용도의 전자부품 분야의 매출이 70%를 차지한다. MEMS용도와 질화갈륨(GaN)이나 탄화규소(SiC)를 가공재료로 하는 파워디바이스 용도의 제조장비판매에 주력하고 있다.
주요제품[편집]
- Plasma CVD System
- LS-CVD®장비
- RIE장비
- ICP Etching장비
- 고속 Si Deep Etching장비
- XeF2 Dry Etching장비
- Plasma Cleaner
- UV Ozone Cleaner
사무코의 기술[편집]
- LS-CVD®（Liquid Source Chemical Vapor Deposition：액체소스CVD®） - Cathode Coupling 방식의 플라즈마CVD장비. SiH4에 비하여 안전한 액체원료인 TEOS를 기화시켜 플라즈마 중의 이온을 이용할 수 있다. 또한 Cathode측의 Sheath전계에서 얻어지는 이온에너지를 제어함으로 해서 응력(stress), 막 밀도 등을 제어하여 뛰어난Coverage특성이 얻어진다. Cathode방식에서는 Self-Bias에 의한 Ion Assist로 막을 형성하기 때문에 Anode방식의 CVD장비에 비해 저온에서의 막 형성이 가능하다.
- Tornado ICP® - ICP Etching장비의 핵심이 되는 코일부분을 3차원 구조로 한 ICP 코일.코일 배치를 자유롭게 할 수 있으며 균일하게 플라즈마를 형성할 수 있다. GaN、GaAs、InP등의 화합물반도체의 가공에서, Si이나 각종 금속 박막의 가공이 가능하다.
- Bosch Process – 등방성 에칭과 보호막 형성의 두 가지의 스텝을 교대로 반복함으로써 Si Deep Etching을 High Etch Rate & High Aspect Ratio로 실현한 Etching기술. Etching은 SF6, 보호막 형성은 C4F8이 주로 사용되며 High Selectivity를 유지한 채 높은 이방성 에칭이 가능하다. 사무코는 독일의 Robert Bosch GmbH사로부터 1992년에 개발된 Bosch Process License 를 일본 반도체제조장비회사 중에서는 처음으로 2003년에 취득하였다. Bosch Process는 가속도센서, 자이로센서 등의 자동차 부품 분야, μTAS등의 의료기기분야, 3차원 디바이스 등의 MEMS부품 제조용도로 폭 넓게 사용되고 있다.
연혁[편집]
- 1979年9月 – 반도체제조장비의 제조 및 판매를 목적으로 주식회사 사무코 인터내셔널연구소를 설립
- 1981年4月– 일본 최초로 화합물반도체제조용 MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor deposition:
유기금속기상성장법)장비 개발, 판매 개시
- 1985年6月 – 교토시 후시미구 다케다 다나카미야쵸33번지(현 와라야쵸36번지)로 본사 이전
- 1985年6月 – 미국 March Instrument사(현Nordson Corporation사)의 제품 판매 개시
- 1987年2月 – 미국 California주 Silicon Valley에 Opto-Films연구소를 개설
- 1994年2月 – 미국Symetrix Corporation 의 기술을 이용한「강유전체성막장비」를 제조/판매
- 1995年7月 – 박막기술을 사용한 특정프레온 무공해화 기술의 기본 기술 개발
- 1997年11月 - 일본Kirin맥주 주식회사와 공동으로 Plastic Bottle에 DLC(Diamond Like Carbon)막을 형성하는 기술 개발
- 2000年1月 – 영국 Cambridge대학 내에 연구소 개설
- 2001年5月 - 일본증권업협회에의 점포등록
- 2001年7月 – 대만 Hsinchu(新竹)시에 대만 사무소를 개설（2009년1월 폐쇄）
- 2003年12月 – (독일)Robert Bosch사로부터 Si High speed Deep Etching기술을 도입
- 2004年11月 – 중국 상해시에 상해 사무소를 개설
- 2004年12月 – 주식회사 사무코 인터내셔널 연구소에서 사무코 주식회사로 사명 변경
- 2004年12月 – 일본증권업협회에의 점포등록을 취소하고 JASDAQ에 주식상장
- 2006年9月 – 중국Tsinghua University와 나노 가공기술의 공동연구 조인
- 2008年8月21日 – 실리콘웨이퍼의 주식회사 SUMCO에 대하여 상표권침해 등의 금지 청구소송에 관하여 화해 성립 [1]
- 2008年10月 – 대만에 After Service를 목적으로 현지법인「Samco Global Service(莎姆克股分有限公司)」를 설립
- 2009年1月 - 「Samco Global Service（莎姆克股分有限公司）」가 영업 개시
- 2010年8月 – 미국 North Carolina주에 미국 동부 사무소를 개설
- 2010年9月 – 중국 베이징(北京)시에 북경사무소 개설
- 2012年5月 – 베트남 호치민시(Ho Chi Minh)에 베트남 서비스 사무소 개설
- 2013年7月24日 – 동경증권거래소 제2부로 시장 변경[2]。
- 2014年1月9日– 동경증권거래소 제1부로 시장 변경
거점[편집]
- Tokyo지점 - TH Building, 7-25-3 Nishi-Gotanda Shinagawa-ku, Tokyo 141-0031 JAPAN
- Tokai지점 - 122 Kanihara Nagakute-shi, Aichi 480-1142 JAPAN
- Tsukuba영업소 - 105 1-15-1 Azuma Tsukuba-shi, Ibaragi 305-0031 JAPAN
- Sendai영업소 - 4F, 2-10-14 Omachi Aoba-ku. Sendai 980-0804 JAPAN
- Hiroshima출장소 - Nakasuji 1-9-20-301 Asaminami-ku, Hiroshima 731-0122 JAPAN
- Opto-Films연구소 - 1227 Innsbruck Dr., Sunnyvale, CA 94089, U.S.A.
- East Coast Office（Research Triangle Park） - 2530 Meridian Parkway, 3rd floor Durham, NC 27713, U.S.A.
- 베이징 사무소 - West International Center, No.99, West Beisanhuan Road, Haidian District, Beijing 100086 China
- 상하이 사무소 - Room No.1410, Shanghai Overseas Chinese Mansion, 129 West Yan'an Road, Shanghai 200040 China
- 싱가폴 지점 - 10 Anson Road, #21-07 International Plaza, Singapore 079903
- 베트남 서비스 사무소 - 131 A/2 Nruyen Thi Minh Khai Street, Ben Thanh Ward, District 1, Ho Chi Minh City, Vietnam
대만 현지법인 사무코 글로벌 서비스（莎姆克股份有限公司）[편집]
- Hsinchu(新竹)본사 - 17F-8 Empire Commercial Bldg. 295 Kuang-Fu Rd., Sec. 2 Hsinchu 300 Taiwan, R.O.C.
- Tainan 서비스 사무소 - 1F, Room No. 107, 19 International Road, Sinshih Township, Tainan County, Taiwan, R.O.C.