파일:Wafer flats convention v2.svg

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설명

Wafer flats convention, based on Image:Wafer flats convention.PNG

Conventional meaning of flats in semiconductor wafers. Red denotes material that has been removed.

Wafer orientation is the orientation of the crystallographic plane in which the crystal grew. Wafer type indicated the type of doping.
Primary flat - indicates crystallographic planes of high symmetry (usually the {110} face).
Secondary flat - it's position relative to Primary flat or it's absence is indicating the doping type and the orientation of wafer.

  • Absence - p {111}
  • 90° - p {100}
  • 180° - n {100}
  • 45° - n {111}
Wafers under 200mm generally have flats indicating crystallographic planes of high symmetry (usually the {110} face) and, in old-fashined wafers (those below about 100mm diameter), the wafer's orientation and doping type. Modern wafers use a notch to convey this information, in order to waste less material. Orientation is important for wafer cleavage, and can affect other structural and electronic properties as well.
날짜
출처

self-made,

 
이 W3C-불확실 벡터 그림은 Inkscape(으)로 제작되었습니다 .
저자 Twisp
다른 버전 Wafer flats convention.PNG

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현재2013년 9월 25일 (수) 06:402013년 9월 25일 (수) 06:40 판의 섬네일150 × 150 (13 KB)Cepheidenfixed position of secondary flat Silicon processing for the VLSI era - Vol. 1 - Process technology; S Wolf; RN Tauber - Lattice Press; 1986; ISBN 096167237; p. 23
2008년 12월 23일 (화) 09:372008년 12월 23일 (화) 09:37 판의 섬네일150 × 150 (13 KB)InductiveloadAdded arrow indication <110> direction and enlarged flats so they can be easily seen
2008년 3월 1일 (토) 06:172008년 3월 1일 (토) 06:17 판의 섬네일150 × 150 (9 KB)Twisp
2008년 3월 1일 (토) 06:132008년 3월 1일 (토) 06:13 판의 섬네일150 × 150 (9 KB)Twisp
2008년 3월 1일 (토) 06:062008년 3월 1일 (토) 06:06 판의 섬네일150 × 150 (8 KB)Twisp
2008년 3월 1일 (토) 05:592008년 3월 1일 (토) 05:59 판의 섬네일150 × 150 (8 KB)Twisp
2008년 3월 1일 (토) 03:092008년 3월 1일 (토) 03:09 판의 섬네일150 × 150 (9 KB)Twisp{{Information |Description= Wafer flats convention, based on Image:Wafer flats convention.PNG Conventional meaning of ''flats'' in semiconductor wafers. Black denotes material that has been removed. Wafer orientation is

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