극자외선

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태양의 극자외선 합성 (빨강색: 21.1 nm, 녹색: 19.3 nm, 파랑색: 17.1 nm). 2010년 8월 1일 태양 활동 관측위성에 의해 촬영됨. 태양 플레어코로나 질량 방출을 보여주고 있다.
13.5 nm 극자외선은 반도체 제조 공정의 일부로서 포토리소그래피를 위해 상업적으로 사용된다. 이 이미지는 초기의 실험적인 도구를 보여준다.

극자외선(極紫外線, extreme ultraviolet, EUV 또는 XUV) 또는 고에너지 자외선 복사는 124 nm에서 10 nm까지 이르는 파장 범위의 전자기 스펙트럼의 일부에 속하는 전자기파로서, (프랑크-아이슈타인 방정식에 따라) 10 eV에서 최대 124 eV(각각 124 nm에서 10 nm에 맞먹음) 에너지의 광자를 갖는다. EUV는 코로나에 의해 자연적으로 발생되며 플라스마싱크로트론 방사원에 의해 인공적으로 만들어진다. 자외선(UVC)이 100 nm까지 확장할 수 있으므로 이 두 용어에서 겹치는 부분이 일부 존재한다.

주 용도는 광전자 분광학, 솔라 이미징, 리소그래피이다.

지구 대기권에서 EUV는 전자기파 스펙트럼에서 가장 흡광률이 높은 성분으로, 전달에는 고진공이 요구된다.

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