90 nm 공정

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반도체 제조 공정
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90 nm(나노미터) 공정은 회로선 폭이 90 nm인 반도체를 다루는 공정 기술 수준이다. 인텔, AMD, 인피니온 테크놀로지스, 텍사스 인스트루먼트, IBM, TSMC와 같은 대부분의 주요 반도체 기업이 2002년에서 2003년 경 도달한 CMOS 공정 기술의 수준이다.

목차

예제: 엘피다 90 nm DDR2 SDRAM 공정[1] [편집]

  • 300 mm 웨이퍼 크기를 사용한다.
  • 광학 근접 보정을 채용한 KrF (248 nm) 리소그래피을 사용한다.
  • 512 메가비트
  • 1.8 V 전압
  • 110 nm 이전의 유도체와 100 nm 공정

90 나노미터 제조 공정을 적용한 프로세서 [편집]

주석 [편집]

  1. Elpida's presentation at Via Technology Forum 2005 and Elpida 2005 Annual Report

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