주사 프로브 현미경

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주사 프로브 현미경은 AFM 팁이나 광섬유 끝을 변형 시킨 프로브를 사용하여 주사(Scanning)하는 현미경이다. 이때 프로브는 연구하려는 물체의 표면과 상호작용을 함으로써, 표면 상의 아주 작은 범위의 물리적, 전기적, 자기적 특성 등을 이해할 수 있다.

SPM(Scanning Probe Microscope)은 일반적으로 주사 터널 현미경 (STM; Scanning Tunneling Microscope)과 원자간력 현미경 (AFM; Atomic Force Microscope)을 칭한다. 이 두가지 이외에도 많은 종류가 존재한다. 다른종류의 예를 들면, MFM, EFM, LFM 등이 존재하며 종류에 따라 측정하는 힘이 다르다. 예를 들면, 원자간력 현미경은 탐침(tip)과 시료(sample)원자 간의 상호작용하는 힘을 측정한다.